等温炉衬

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设计灵活性

可制造用于亚环境和低温操作

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极其可靠

提供均匀温度的工作环境

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经济高效且易于安装

无移动部件

同热炉衬里(IFL)是环形液态金属热管,提供均匀的温度工作环境。博伊德公司的IBL通过实现同热壁温度,在最大限度地提高生产率的同时,节省了时间和精力。IFL 无需移动部件,安装简单,提供设计灵活性,且非常可靠且具有成本效益。与探针不同,IFL 不依赖于连接到周围墙壁或外部环境的传热路径。

在大多数应用中,Boyd IFL 使用单个加热器和控制器提供单一的均匀温度区。对于多个单独控制的区域或温度轮廓的步进变化,可以串联使用两个或多个 IFL。温度调整是一个简单的单步过程,无需频繁的轮廓测量。

等温炉衬垫提供卓越的温度均匀性是半导体晶体生长、热电偶和温度校准、气相沉积、黑色体散热器、浓缩太阳能接收器等精确工艺所必需的。和更多。IFL 非常适合化学加工和研究应用中的工艺管和实验室炉。IFL 中测量的空间温度变化小于 10mK,在许多情况下可能超过现有测量技术的灵敏度。

工作温度可达1,600°C的标准IFL,提供多种尺寸,可适用于水平或垂直应用中的常规炉膛。定制IFL可用于低温和冷冻环境。IFL的大小和几何形状可根据任何应用进行定制。

等温处理容器 (IPV) 是等温炉衬里的延伸,自 1971 日起一直供应给半导体晶体种植者和校准实验室。

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主要行业

工业

  • 半导体晶体增长
  • 气相沉积
  • 热电偶和温度校准
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    电力

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